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第9章离子束抛光拿它七八个诺奖（第3页）

苏哲见范晓明端着茶坐到沙发上，他指着笔记本电脑屏幕问：“晓明哥！

你这是在干啥？”

“分析数据！”

范晓明喝了一口热茶，解释说，“我跟着我导师研究EUV光刻机光学镜头的事你是知道的，这光学镜头的制造是非常麻烦的，光学镜头的物质组成暂且就不说了，就说说光学镜头的镜面加工，其中……”

范晓明讲得很仔细，苏哲听的很认真。

目前，给制造EUV光刻机制造商BSmL提供光学镜头的是欧罗巴的公司蔡斯。

蔡斯公司加工光刻机镜头用了精密机床铣磨，后续经过小磨头抛光、磁流变抛光和离子束抛光达到o.12纳米的面型精度峰谷值和2o皮米的表面粗糙度。

“现在，有了更加先进的数控光学加工中心，其中包含了应力盘抛光和磁流变抛光，经过这些，光学镜头能够达到1o纳米的面型精度峰谷值和2纳米的表面粗糙度。”

范晓明有些自豪的说。

“我们能自主生产这种数控光学加工中心吗？”

苏哲问。

“可以！”

范晓明有些失落的说，“现在，我们的问题就出在离子束抛光上，我们研发中心造出来的离子束抛光设备对数控光学加工中心加工出来的光学镜头抛光，光学镜头只能够达到1纳米的面型精度峰谷值和2oo皮米的表面粗糙度，和蔡斯加工的相比，差了整整一个数量级。”

“差距是有点大！”

苏哲点头。

“这离子束抛光技术说起来简单，就是用离子束去轰击光学镜头的表面，可坑人的是，没办法确定离子束的物质组成，只能不断的去试。”

范晓明摇头说。

传统的离子束使用的是惰性气体氩、氮等，可这样的离子束达不到精度要求。

“明白了！”

苏哲想了想，接连问，“这离子束抛光技术是不是很值钱？几百万还是几千万？研发离子束抛光技术需要掌握那些知识？”

“当然值钱，只要你搞出了离子束抛光技术，不说一个亿，就是卖十个亿也有人买，要知道，高端光学镜头可不止应用在高端光刻机上，还有摄影、测量、显微镜、医疗、天象仪等等很多高精密领域。”