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第179章 达成协议（第3页）

进到这个超高洁净度生产车间里面，彼得等人都是好奇地打量着周围。

不一会儿，彼得看到被这边光刻区正在进行曝光工序的光刻机设备后便愣住了——

这些设备工件台装置完全跟艾斯摩尔和康尼精机以及嘉能研制出来的光刻机设备是不一样的！

工件台装置上面承载晶圆片的装置是浸泡在**里面的，而镜头组也是浸没在**里面。

“我怎么没有看到掩膜台？”

彼得此时吃惊地对谭小松问道。

“彼得先生，我们的掩膜台在镜头组的上方，是可以跟下面的工件台装置同步运动的。”

“什么？！”

飞利浦自家晶圆厂用的是自己控股的艾斯摩尔光刻机设备，目前研制的光刻机设备是那种接近式步进光刻机，掩膜台在物镜组下方。

眼前的这套光刻机设备是彼得之前从来没见过的光刻机设备！

“这是你们自己设计开发的光刻机设备？”

彼得此时嘴巴张得能吞下一个拳头！

“当然。”

谭小松跟一边具体负责设计开发光刻机设备的赵亚东等人都是一脸自豪的表情。

彼得等人绞尽脑汁也是搞不明白眼前的这些人怎么就能研制出这样的光刻机出来，过来好一会儿才开口说道：“我要看看这套光刻机设备到底能不能做到零点一八微米线宽的光刻工艺水平。”

谭小松笑着对赵亚东说道：“那你们给彼得先生看看我们零点一八微米线宽的光刻效果。”

赵亚东随后笑着对彼得说道：“彼得先生，我们已经准备好了一片进行了零点一八微米线宽光刻工序后的晶圆样品，你们可以用电子显微镜察看一下加工效果的。”

彼得等人随后来到了前道工序的一套电镜设备前。

当通过电子显微镜看到这片晶圆上进行光刻工艺后的效果，彼得和几位技术总监都是面面相觑。

他们看到的这片晶圆是他们看着技术人员从光刻设备旁边的晶圆盒里面取出来的，这边的技术团队当然不会在光刻工艺环节上作假。

那就只能说明这边的技术团队通过这套光刻机设备攻克了零点一八微米线宽的光刻制程工艺技术！

这家星环科技公司竟然是靠着自身的光刻机设备攻克这样先进制程工艺的，这个事实让彼得等人一时间难以消化！

“谭先生，你们可以向我们仔细地介绍一下这套光刻机设备吗？”

彼得此时开口问道。

“目前这套设备我们还处在技术保密状态，不方便透露。”

谭小松开口说道。

“谭先生，请问你们是不是从米国方面得到了这方面的技术？”

此时一名技术总监开口问道。

“怎么可能呢！”

谭小松开口说道：“你们觉得米国方面会把这样的设备技术给我们？”

这名技术总监说不出话来。

“我们想从飞利浦集团公司旗下的艾斯摩尔公司采购最先进的光刻机设备都买不到，那我们只能是自己动手了。”